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横河川仪EJA高精度防爆压力变送器工作原理

横河川仪EJA高精度防爆压力变送器的工作原理主要基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是其工作原理的详细说明:传感器结构:EJA变送器的核心部件是单晶硅谐振式传感器,该传感器采用微电子机械加工技术(MEMS)制造。在一个单晶硅芯片的表面中心和边缘,分别制作两个形状、尺寸和材质完全一致的H形谐振梁。这些谐振梁处于微型真…
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横河川仪EJA高精度防爆压力变送器的工作原理主要基于单晶硅谐振式传感器技术。以下是其工作原理的详细说明:

传感器结构:EJA变送器的核心部件是单晶硅谐振式传感器,该传感器采用微电子机械加工技术(MEMS)制造。在一个单晶硅芯片的表面中心和边缘,分别制作两个形状、尺寸和材质完全一致的H形谐振梁。这些谐振梁处于微型真空腔中,既不与充灌液接触,也确保振动时不受空气阻尼的影响。
振动原理:谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。当单晶硅片的上下表面受到不等压力时,会产生形变。中心谐振梁因受到压缩力而频率减小,边缘谐振梁因受到拉伸力而频率增加。
信号转换:两谐振梁的频率之差直接送到CPU进行数据处理。经D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mADC的输出信号,并在模拟信号上叠加一个BRAIN/HART数字信号进行通信。
特性修正:膜盒组件中内置的特性修正存储器存储传感器的环境温度、静压及输入/输出特性修正数据。经CPU运算,可使变送器获得优良的温度特性和静压特性及输入/输出特性。123
此外,EJA变送器还具有防爆设计,适用于危险场所的使用。其高精度和稳定性使其在工业自动化控制领域中广泛应用。

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